PHI nanoTOF 3飛行時間二次離子質譜儀的詳細資料

*的離子束技術，實現高空間分辨率

PHI nanoTOF3 能夠提供高質量分辨和高空間分辨的TOF-SIMS分析 ：在高質量分辨模式下，其空間分辨率優于500 nm；在高空間分辨模式下，其空間分辨模式優于50 nm。通過結合高強度離子源、高精度脈沖組件和高分辨率質量分析器，可以實現低噪聲、高靈敏度和高質量分辨率的測量。

高空間分辨模式下脈沖束斑優于50 nm

Triple Ion Focusing Time-of-Flight (TRIFT)

—三重離子束聚焦質量分析器

寬帶通能量、寬立體接受角度

—適用于各種形貌樣品分析

主離子束激發的二次離子會以不同角度和能量從樣品表面飛出，特別是對于有高度差異和形貌不規則的樣品，即使相同的二次離子在分析器中會存在飛行時間上的差異，因此導致質量分辨率變差，并對譜峰形狀和背景產栺影響。

TRIFT質量分析器可以同時對二次離子發射角度和能量進行校正，保證相同二次離子的飛行時間一致，所以TRIFT兼顧了高質量分辨率和高檢測靈敏度優勢，對于不平整樣品的成像可以減少陰影效應。

全新的全自動樣品傳送系統

PHI nanoTOF3 配置了在XPS的Q系列上表現優異的全自動樣品傳送系統：最大樣品尺寸可達100 mmx100 mm，而且分析室標配內置樣品托停放裝置；結合分析序列編輯器（Queue Editor），可以實現對大量樣品的全自動連續測試。

采用新開發的脈沖氬離子槍

自動荷電雙束中和技術

TOF-SIMS測試的大部分樣品為絕緣樣品，而絕緣樣品表面通常有荷電效應。PHI nanoTOF3 采用自動荷電雙束中和技術，通過同時發射低能量電子束和低能量氬離子束，可實現對任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動荷電中和，無需額外的人為操作。

※需要選配Ar離子槍

MS/MS平行成像

同時采集MS1/MS2數據

在TOF-SIMS測試中，MS1質量分析分析器接收從樣品表面產生的所有二次離子碎片，對于質量數接近的大分子離子，MS1譜圖難以區分。通過安裝串聯質譜MS2，對于特定離子進行碰撞誘導解離栺產特征離子碎片，MS2譜圖可以實現對分子結構的進一步鑒定。

PHI nanoTOF3 具備串聯質譜MS/MS平行成像功能，可以同時獲取分析區域的MS1和MS2數據，為分子結構的精準分析提供了強有力的工具。

遠程訪問實現對儀器的遠程控制

PHI nanoTOF3 允許通過局域網或互聯網訪問儀器。只需將樣品臺放入進樣室，就可以對進樣、換樣、測試和分析等所有操作進行遠程控制。我們的專業人員可以對儀器進行遠程診斷*。

多樣化配置充分發揮TOF-SIMS潛力

兼容多種儀器的樣品傳送管

樣品傳送管是專為大氣敏感類樣品所設計的樣品轉移裝置。通過該裝置可以實現在惰性氣體保護下的樣品制備與轉移，從而避免樣品在傳遞過程中接觸大氣。此外，樣品傳送管與PHI旗下多款XPS和AES設備相兼容，便于用戶使用多種表面分析技術進行綜合分析。

進樣室手套箱

可以選配直接連接到樣品進樣室的可拆卸手套箱。鋰離子電池和有機OLED等容易與大氣發栺反應的樣品可以直接安裝在樣品臺上。此外，在冷卻分析后更換樣品時，可以防止樣品表面結霜。

加熱和冷卻樣品臺

樣品可以在測量位置加熱和冷卻。溫度在-150℃到200℃之間可控，從進樣到測量，可隨時監測和控制溫度。

用于曲面分析的樣品臺

可以在不受凹凸影響的情況下觀察曲面的樣品臺。對采譜的質量范圍沒有限制，可以實現寬捕獲立體角和高精度質譜分析。適用于球體、線材和纖維等樣品。

氬團簇離子槍

使用氬團簇離子束(Ar-GCIB)可以對有機材料進行低損傷離子刻蝕，實現在保持有機化合物分子結構的同時進行深度剖析。

銫離子槍和氬/氧離子槍

可選配銫離子槍（負離子分析）和氧離子槍（正離子分析）作為濺射離子槍用于無機材料的高靈敏度分析，這兩種離子槍對相應極性的二次離子具有增強效應。